手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱(水氧吸附器)之间,在PLC的控制和监视下,通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉,然后再返回箱体内,随着循环时间的推移,箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少,终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和,可进行再生,重复使用。
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手套箱工作原理
手套箱系统是将高纯惰性气体充入密闭的箱体内,并通过净化系统循环过滤掉其中的活性物质(水、氧均能达到1PPM以下)的实验室设备。
主要由箱体、机架、过渡舱、气体净化系统、PLC自动控制系统等组成。
主要对O2,H2O,有机气体的清除。
适用于无水、无氧、无尘的超纯环境。如:锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。
针对艾明坷手套箱来说,我们可以做到:
手套箱为密闭循环设计,节约运行成本,在标准状况下,即20oC恒温,一个标准大气压,99. 999%的惰性气源,水氧指标均小于1 ppm;
箱体及大小过渡舱使用304不锈钢板,前视窗为钢化玻璃,耐磨防腐蚀;
触摸屏PLC控制,自动化程度高,可实现:箱体内气体压力自动控制,箱体内气氛自动清洗,净化材料自动再生,系统运行数据自动记录等操作;
用户可根据实际需求在标准手套箱上选配各种附件:水分析仪、氧分析仪、溶剂吸附器、冰箱高温加热装置、激光焊机等。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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